पर्यावरण विज्ञान: एक भारतीय जर्नल
ISSN (PRINT):0974-7451

अमूर्त

Study of Ti(C,N) coatings deposited by magnetron sputtering

N.Saoula, A.Z.Ait Djafer


In thiswork, Ti(C,N) coating have been deposited byRF reactivemagnetron sputtering (13.56MHz).WeÂ’ve been studied the effect of the nitrogen partial pressure and the substrate bias voltage on the properties of titanium carbonitride coatings prepared by RF reactive magnetron sputtering. The deposited coatings were characterized by atomic force microscopy (AFM) and micro-indentation.


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